知识介绍
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银辅助刻蚀单晶硅 |
李川, 王明召 |
北京师范大学化学学院 北京 100875 |
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Silver-assisted Etching of Single-crystal Silicon |
LI Chuan, WANG Ming-Zhao |
College of Chemistry, Beijing Normal University, Beijing 100875, China |
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摘要:结合高中化学原电池、氧化还原反应以及银镜反应等知识,介绍两种沉积银粒子辅助刻蚀单晶硅技术的基本原理,供一线高中化学教师用于扩展高中生的化学知识,帮助学生了解化学前沿。
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关键词: 高中化学,
单晶硅,
银辅助刻蚀,
物理沉积,
化学沉积
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基金资助:国家级精品资源共享课程建设项目(102-135003);北京市精品课程建设项目(102-105815);北京师范大学教学建设与改革项目(12-07-05) |
通讯作者:
王明召
E-mail: wang-mzo@bnu.edu.cn
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引用本文: |
李川, 王明召. 银辅助刻蚀单晶硅[J]. 化学教育(中英文), 2014, 35(8): 6-8
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