Chinese Journal of Chemical Education
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知识介绍
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| 电脑芯片中的化学 |
| 曹玉民 |
| 河北师范大学化学与材料科学学院, 石家庄 050016 |
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| Chemistry in the Computer Chip |
| CAO Yumin |
| College of Chemistry and Material Science, Hebei Normal University, Shijiazhuang 050016 |
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摘要：针对电脑芯片的制造涉及到许多化学反应，介绍了单晶硅晶片的制备、外延、氧化、化学气相沉积、光刻蚀等化学反应过程。
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| 关键词： 芯片,
集成电路,
化学
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| 引用本文: |
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曹玉民. 电脑芯片中的化学[J]. 化学教育（中英文）, 2007, 28(7): 5-7
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| [1] |
刘玉玲等.微电子化学技术基础.北京:化学工业出版社,2005
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| [2] |
[美] 普卢默等,超大规模集成电路工艺技术——理论实践与模型.北京:电子工业出版社,2005
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| [3] |
解振华,黄蕊慰.机电工程技术,2004,(11):69-72
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| [4] |
来五星等.半导体技术,2004,(11):22-25
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| [5] |
http://www.phys.sinica.edu.tw.微影制程与迭对误差介绍.2006-4-2
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